12月17日

欧洲投注app牛津仪器公司(Oxford Instruments)的Atomfab®系统是一家市场领先的氮化镓电力电子设备制造商生产的合格系统

欧洲投注app牛津仪器等离子技术公司，为主要化合物半导体(CS)设备制造商提供等离子蚀刻和沉积高容量制造(HVM)解决方案的领先供应商，该公司的远程等离子体原子层沉积(ALD)氮化钝化解决方案获得了美国一家领先的GaN器件电力电子制造商的资质，可以全面生产，以支持其斜坡的第一阶段。

基于网络的设备现在已经在消费市场上建立了良好的地位，有各种商业上可用的快速充电器来支持移动设备。快速充电和更小的占地面积是氮化镓技术的主要优点之一，并正在加速消费者的快速采用。Atomfab ALD系统提供满足HVM GaN设备制造商拥有成本所需的晶圆需求。

“通过独特的技术创新，Atomfab能够显著降低每片晶圆的成本，包括正在申请专利的低损伤革命性快速远程等离子体源，它可以提供更高质量的铝₂O_3.牛津仪器公司ALD产品经理Aileen O ' mahony博士说。欧洲投注appO’mahony博士继续说:“在不影响产量或质量的情况下，结合等离子体ALD的等离子预处理和薄膜质量优势，是实现晶圆过渡和满足客户需求的一步变化。”

Atomfab满足客户在单片平台上的需求，采用SEMI标准的簇配置和改进的工艺控制，为最新的化合物半导体解决方案。对于该客户来说，该系统完全无缝地集成到他们的生产线和fab自动化软件中。

欧洲投注app牛津仪器服务总监Dean Furlong补充说:“工厂自动化和监控在fab manufacturing lines是非常重要的。这些系统的集成与晶圆本身同样重要。这些系统被安装在牛津仪器公司的所有生产设备中。欧洲投注app按照行业标准，该客户可以快速将其工厂自动化软件接入我们的系统。”

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为牛津仪器等离子技术公司签发并代表该公司欧洲投注app